Halbleiter & Mikroelektronik
In der Halbleiterindustrie benötigen zahlreiche Prozesse ultrareines Wasser für ihren Betrieb. Jede Störung der Wasserqualität kann zu einem kostenintensiven Anlagenstillstand führen - dies sollte vermieden werden. Daher ist eine kontinuierliche und schnelle Wasseranalyse erforderlich, um den hohen Qualitätsanforderungen gerecht zu werden.
Ultrareines Wasser wird unter besonders strikten Spezifikationen hergestellt. Es geht darum, die Reinheit in Bezug auf alle Arten von Verunreinigungen zu gewährleisten: organische/anorganische Verbindungen, gelöste/feste oder flüchtige/nicht flüchtige Bestandteile, gelöste Gase, reaktive/inerte Stoffe usw. Abhängig von der jeweiligen Anwendung sind die Anforderungen an die UPW-Reinheit in Normen wie ASTM D5127 und SEMI F63 definiert.
LAR Process Analysers AG
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