WASSERANALYSE IN DER HALBLEITER- UND MIKROELEKTRONIKINDUSTRIE
In der Halbleiterindustrie benötigen zahlreiche Prozesse hochreines Wasser für ihren Betrieb. Jede Störung der Wasserqualität kann zu einem kostenintensiven Anlagenstillstand führen – dies sollte vermieden werden. Daher ist eine kontinuierliche und schnelle Wasseranalyse erforderlich, um die hohen Qualitätsstandards zu erfüllen.
In der Halbleiter- und Mikroelektronikindustrie werden die hohen Qualitäts- und Reinheitsanforderungen für die Produkt- und Prozesssicherheit durch eine genaue und zuverlässige Online-TOC-Überwachung in den niedrigsten Stufen erfüllt.
Reinstwasser wird unter besonders strengen Vorgaben aufbereitet. Es gilt, die Reinheit in Bezug auf alle Arten von Verunreinigungen zu gewährleisten: organische/anorganische Verbindungen, gelöste/feste oder flüchtige/nichtflüchtige Bestandteile, gelöste Gase, reaktive/inerte Stoffe usw. Abhängig von der jeweiligen Anwendung sind die Anforderungen an die Reinheit von UPW in Normen wie ASTM D5127 und SEMI F63 definiert.
Ultrareines Wasser (UPW) wird hauptsächlich bei der Herstellung von Halbleitern und in der Mikroelektronik verwendet. Es wird unter anderem in der
- Spülen von Wafern
- die Verdünnung von Chemikalien
- und in optischen Systemen in der Photolithographie
Regulierte chemische und/oder dampfbasierte Reinigungsprozesse (Pharma), sowie Ultrafiltration (Halbleiter), Ozonierung und allgemeine Optimierung von Kanalsystemen können Verunreinigungen minimieren. Die Wirksamkeit der Reinigungsprozesse und die Qualität des eingesetzten UPW werden durch TOC-Analysen und Leitfähigkeitsmessungen überwacht.
Die primäre und kritische Anwendung von UPW ist die Front-End-Reinigung bei der Herstellung von integrierten Leiterplatten.
Potenzielle Quellen von Verunreinigungen können sein:
- Die Quellen von Verunreinigungen wie Partikel, Bakterien/biologisches Wachstum, organische Stoffe (TOC) und anorganische Komponenten sind Speisewasser und Zusatzwasser, das bei der Herstellung von ultrareinem Wasser verwendet wird.
- Verteilungssysteme können ihrerseits eine Kontaminationsquelle sein, ebenso wie Zusatzstoffe und Reinigungsprozesse.
Zertifizierungen und Partnerschaften
LAR Process Analysers AG
Neuköllnische Allee 134
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Germany
