Halbleiter & Mikroelektronik

In der Halbleiter- und Mikroelektronikindustrie werden die hohen Qualitäts- und Reinheitsanforderungen für die Produkt- und Prozesssicherheit durch genaue und zuverlässige Online-TOC-Überwachung auf niedrigstem Niveau erfüllt.

Halbleiter & Mikroelektronik

In der Halbleiterindustrie benötigen zahlreiche Prozesse ultrareines Wasser für ihren Betrieb. Jede Störung der Wasserqualität kann zu einem kostenintensiven Anlagenstillstand führen - dies sollte vermieden werden. Daher ist eine kontinuierliche und schnelle Wasseranalyse erforderlich, um den hohen Qualitätsanforderungen gerecht zu werden.

Ultrareines Wasser wird unter besonders strikten Spezifikationen hergestellt. Es geht darum, die Reinheit in Bezug auf alle Arten von Verunreinigungen zu gewährleisten: organische/anorganische Verbindungen, gelöste/feste oder flüchtige/nicht flüchtige Bestandteile, gelöste Gase, reaktive/inerte Stoffe usw. Abhängig von der jeweiligen Anwendung sind die Anforderungen an die UPW-Reinheit in Normen wie ASTM D5127 und SEMI F63 definiert.

LAR's Lösungen und Vorteile

Online-Prozess-Analysatoren:

Anwendungsspezifische Wasserqualitätsanalysatoren als schlüsselfertige Lösungen für Ihre analytischen Messanforderungen.
Weltweite Unterstützung:

Unser Customer Success Team unterstützt Sie vom ersten Kontakt über die Realisierung und Inbetriebnahme bis hin zum After-Sales-Service. Wir sorgen für Sie!
Effektive Wasserwirtschaft:

Der Einsatz der richtigen Online-Prozessinstrumentierung hilft, hohe Kosten zu vermeiden, z.B. durch Vermeidung von Produktverlusten oder Heizenergieverlusten.

Ultrareines Wasser (UPW) wird hauptsächlich bei der Herstellung von Halbleitern und in der Mikroelektronik verwendet. Es wird unter anderem in der

Spülen von Wafern
die Verdünnung von Chemikalien
und in optischen Systemen in der Photolithographie

Regulierte chemische und/oder dampfbasierte Reinigungsprozesse (Pharma), sowie Ultrafiltration (Halbleiter), Ozonierung und allgemeine Optimierung von Kanalsystemen können Verunreinigungen minimieren. Die Wirksamkeit der Reinigungsprozesse und die Qualität des eingesetzten UPW werden durch TOC-Analysen und Leitfähigkeitsmessungen überwacht.

Die primäre und kritische Anwendung von UPW ist die Front-End-Reinigung bei der Herstellung von integrierten Leiterplatten.

Potenzielle Quellen von Verunreinigungen können sein:

Die Quellen von Verunreinigungen wie Partikel, Bakterien/biologisches Wachstum, organische Stoffe (TOC) und anorganische Komponenten sind Speisewasser und Zusatzwasser, das bei der Herstellung von ultrareinem Wasser verwendet wird.
Verteilungssysteme können ihrerseits eine Kontaminationsquelle sein, ebenso wie Zusatzstoffe und Reinigungsprozesse.