Halbleiter & Mikroelektronik

In der Halbleiterindustrie benötigen zahlreiche Prozesse für ihren Betrieb ultrareines Wasser. Jede Störung der Wasserqualität kann zu einer kostenintensiven Anlage führen - dies sollte vermieden werden. Daher ist eine kontinuierliche und schnelle Wasseranalyse erforderlich, um die hohen Qualitätsstandards zu erfüllen.

Reinstes Wasser wird unter besonders strengen Vor­ga­ben auf­be­rei­tet. Es gilt, die Rein­heit in Be­zug auf alle Ar­ten von Ver­un­rei­ni­gun­gen sicher­zu­stel­len: orga­nische / an­orga­nische Ver­bin­dun­gen, ge­löste / feste oder flüch­tige / nicht-­flüch­tige Kom­po­nen­ten, ge­löste Ga­se, re­aktive / in­erte Subs­tan­zen usw. Je nach An­wen­dungs­ge­biet sind die An­for­de­run­gen an die UPW-Rein­heit in Nor­men wie ASTM D5127 und SEMI F63 definiert.

Wasserarten

  • Prozesswasser
  • Ultra-reines Wasser (UPW)
  • Industrielles Abwasser
  • Einleiterkontrolle

Prozesssteuerung und Produktsicherheit

Ultra-reines Wasser (Ultra-pure water, UPW) wird primär für die Herstellung von Halbleitern und Mikroelektronik verwendet. Es wir vor allem eingesetzt beim

  • Spülen von Wafern
  • Verdünnen von Chemikalien
  • und in optischen Systemen in der Photolithographie

Regelmäßige chemische und / oder dampfbasierte Reinigungsprozesse (Pharma) sowie Ultrafiltration (Halbleiter), Ozonisierung und allgemeine Optimierung von Kanalsystemen können Verunreinigungen minimieren. Die Wirksamkeit von Reinigungsprozessen und die Qualität des verwendeten Reinstwassers werden durch TOC-Analysen und Leitfähigkeitsmessungen überwacht.

Die primäre und entscheidende Anwendung von UPW ist die Front-End-Reinigung bei der Herstellung von integrierten Leiterplatten.

Potentielle Quellen für Verunreinigungen sind

  • Das Speisewasser und das zusätzliche Wasser, das bei der Aufbereitung von Ultra-Reinstwasser verwendet wird, können Verunreinigungen wie Partikel, Bakterien, organische (TOC) und anorganische Komponenten mit sich führen.
  • Verteilersysteme (Rohrleitungen) können weitere Kontaminationsquellen sein, ebenso wie Additive und Reinigungsprozesse.

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Total Organic Carbon analysers are commonly used to measure the level of organic contamination in water. Online TOC analysers installed in refineries and petrochemical plants are located right in the middle of the process facilities.

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Types of Water: Cooling Water, Water Effluent, Discharge control, Industrial Waste Water

 

Parameter: TOC, TNb

 

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Wasserarten: Prozesswasser, Reinstwasser, Industrielles Abwasser

 

Parameter: TOC, DOC

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